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    张立锋
    高级工程师
    电        话:55664846
    研  究  所:
    邮        箱:lfzhang@fudan.edu.cn
    个人网址:
    办公地址:复旦大学邯郸校区微电子楼B208室
    • 研究方向
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    • 荣誉称号
  • 研究方向:

    原子层淀积(ALD)薄膜制备

    集成电路MIM电容研究

    K介质研究

     

    教育背景

    复旦大学,微电子学与固体电子学,博士