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张立锋
高级工程师
、
电 话:
55664846
研 究 所:
邮 箱:
lfzhang@fudan.edu.cn
个人网址:
办公地址:
复旦大学邯郸校区微电子楼B208室
研究方向
教育背景
学术经历
荣誉称号
研究方向
:
原子层淀积
(ALD)
薄膜制备
集成电路
MIM
电容研究
高
K
介质研究
教育背景
:
复旦大学,微电子学与固体电子学,博士